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모델 ME2

 

모델 ME2는 헬륨 테스트를 대체하는 애플리케이션에 AIR를 이용한 질량 추출 시험기입니다. 높은 처리량과 중간 크기의 부품을 위해 설계된 이 장비는 클린 룸 또는 산업용으로 제공됩니다.

제품 사양

 

크기 및 엑세스:

  • 17”W, 24”H, 19”D (커넥터 및 피팅류 미포함)

  • (선택사항) 카트 크기: 28”W, 47”, 20”D

  • 진공 생성 및 제어 페키지는 카트(선택사항)로 외부 장착 

 

가스:

  • Dry, clean gases: air, nitrogen

  • 다른 가스류는 크리스시스템에 연락주세요. 

 

 

해당되는 마이크로-플로우 센서:

 

  • 진공 센서: Model IL2-M, calibrated from 2 psia (슬립 및 점성 유동 체제)

  • 고진공 센서: Model IMFS, calibrated from 0.01 to 0.2 psia (Molecular and transitional flow regimes)

 

 

연결, 입력, 전원

  • 디지털 입력: 5 VDC, Opto-Isolated for start, stop, type, pressure switch, verify. Digital Outputs: 30 VDC-20 mA, opto-isolated forpass, fail, clamp, test type, exhaust and customAnalog outputs: single channel, 0-5 VDC pressure control

  • 공압 연결:Test PortsAir supply: ¼” SwagelokVacuum: 3/8” to 1” NW(Application dependent)

  • RJ45 Ethernet or RS232 Serial Interface

  • 전원 공급:115VAC-60Hz220VAC-50Hz (선택적)

 

제품 사용

  • 진공 상태의 누설 시험 

    • 슬립 및 점성 유동 체제 (2 psia에서 대기압)

    • 2psia 압력에서 1x10-5 sccs 이내 누설 

    • 고진공 - 분자 유동 (0.1psia 미만)

  • 0.01psia 압력에서 6x10-7 sccs 이내 누설 (0.1µm 결함 크기) 

  • 질량 추출 시험 

  • 중간 크기 시험 제품, 높은 처리량 

  • CE 인증 

 

특 징

  • 마이크로-플로우 센서 - The Intelligent Gas Leak Sensor (IGFS); 또는 

  • 분자 유동 센서 - The Intelligent Molecular Leak Sensor (IMFS)

  • 자동 진공 시험 회로, ultra-tight 사양의 누설 시험을 위한 특별 설계 

  • 발란스 및 순간 배출 회로 내장 

  • 전면 그래픽 디스플레이 및 터치 스크린

  • 검증 오리피스 (등가 채널 또는 등가 직경) 및 밸브 내장 

  • 디지털 및 아날로그 입출력 인터페이스

  • 이더넷 또는 시리얼 인터페이스

  • 클린룸용 스테인리스 스틸 

  • 오일리스 진공 생성 및 제어 페키지 (다양한 크기)

  • 진공 생성 및 제어 페키지 시험 카트 (선택사항)